중앙대학교(총장 박상규)는 본교 전자전기공학부·지능형반도체공학과 박성규 교수와 강승한 박사과정생으로 구성된 연구팀이 차세대 자유 형상 반도체 소자와 디스플레이에 적용하기 위한 ‘고 신축성 무기 반도체 트랜지스터·집적회로’ 기술을 개발했다고 4일 밝혔다.

다양한 형태 변환이 가능한 차세대 자유 형상 전자기기를 개발하기 위해서는 형태를 변환해도 성능을 유지할 수 있는 신축성 반도체 소자 개발이 우선이다.

박성규 교수 연구팀은 분자 맞춤형 기판 소재와 액상 금속 배선을 활용해 만든 고 신축성 산화물 트랜지스터와 집적회로를 개발했으며, 신축 기판과 강성 섬유 분자 맞춤형 소재를 도입해 강한 결합력을 갖도록 하여 층 분리 문제를 해결하고, 이중 보호막 구조의 트랜지스터를 기판 내부에 위치시켜 소자 안정성까지 확보했다.

연구팀은 ‘고집적 산화물 반도체 집적회로 신축화 기술’ 외에 고해상도 액상 금속 배선을 기존 반도체(CMOS) 공정에 호환할 수 있는 통합된 ‘일체형 고 신축 집적회로 제조 기술’도 개발했다고 밝혔다.

이번 연구 성과는 중앙대 박성규 교수 연구팀이 영국 케임브리지대, 성균관대와 함께 진행한 결과로 박성규 교수가 연구 책임을 맡았으며, 강승한 박사과정생은 제1저자에 이름을 올렸다.

해당 논문인 ‘대면적 분자 맞춤형 고 신축성 무기 트랜지스터 및 집적회로(Full integration of highly stretchable inorganic transistors and circuits within molecular-tailored elastic substrates on a large scale)’는 학술지 네이처(Nature)의 자매지 ‘네이처 커뮤니케이션즈(Nature Communications, IF=16.6)’에 4월 1일 자로 온라인 게재됐다.

베타뉴스 강규수 기자 (health@betanews.net)
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